金融界2025年1月31日消息✿ღ◈ღ✿,国家知识产权局信息显示河中麻系BALLBET全站app✿ღ◈ღ✿,深圳市昇维旭技术有限公司申请一项名为“一种晶圆载片✿ღ◈ღ✿、晶圆载片制备方法和晶圆处理方法”的专利✿ღ◈ღ✿,公开号 CN 119381305 A台积电优势✿ღ◈ღ✿。✿ღ◈ღ✿,申请日期为2024年1月✿ღ◈ღ✿。
专利摘要显示ballbet贝博体育app下载✿ღ◈ღ✿,本申请属于半导体技术领域ballbet贝博体育app下载✿ღ◈ღ✿,具体涉及一种晶圆载片✿ღ◈ღ✿、晶圆载片制备方法和晶圆处理方法河中麻系ballbet贝博体育app下载✿ღ◈ღ✿,所述载片包括✿ღ◈ღ✿:载片本体河中麻系ballbet贝博体育app下载✿ღ◈ღ✿,所述载片本体具有相对设置的第一表面和第二表面✿ღ◈ღ✿;至少一个第一导电部件ballbet贝博体育app下载✿ღ◈ღ✿,沿第一表面和所述第二表面的相对方向贯穿设置在所述载片本体中✿ღ◈ღ✿,且每个所述第一导电部件的位置分别与所述静电吸附盘中接地针的位置相对应贝博ballbet体育✿ღ◈ღ✿,✿ღ◈ღ✿。将本申请的晶圆载片应用在晶圆的静电吸附工艺流程中时晶圆载片包括至少个第导电部件✿ღ◈ღ✿,可以增加晶圆载片与静电吸附盘接触表面的电荷极化率ballbet贝博体育app下载✿ღ◈ღ✿,从而可以提高静电吸附的贴合力✿ღ◈ღ✿;并且当去除作用于该静电吸附盘上的高压电源时✿ღ◈ღ✿,由于晶圆与导电材料的接触面积增大✿ღ◈ღ✿,可以提高晶圆表面电荷的释放效率河中麻系✿ღ◈ღ✿,防止出现粘接的问题ballbet贝博体育台积电✿ღ◈ღ✿,✿ღ◈ღ✿,✿ღ◈ღ✿。
天眼查资料显示✿ღ◈ღ✿,深圳市昇维旭技术有限公司✿ღ◈ღ✿,成立于2022年✿ღ◈ღ✿,位于深圳市✿ღ◈ღ✿,是一家以从事计算机✿ღ◈ღ✿、通信和其他电子设备制造业为主的企业✿ღ◈ღ✿。企业注册资本500000万人民币ballbet贝博体育app下载✿ღ◈ღ✿,实缴资本500000万人民币✿ღ◈ღ✿。通过天眼查大数据分析河中麻系✿ღ◈ღ✿,深圳市昇维旭技术有限公司共对外投资了1家企业✿ღ◈ღ✿,参与招投标项目11次✿ღ◈ღ✿,知识产权方面有商标信息47条✿ღ◈ღ✿,专利信息43条✿ღ◈ღ✿,此外企业还拥有行政许可13个✿ღ◈ღ✿。
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