半导体制程ღ★。ballbet贝博网站官网ballbet中国官网贝博ballbetღ★！BALLBET贝博体育“在这样一个富有历史沉淀和积累的研究所工作ღ★，你会感到自己和国家科技发展迈出的每一步都息息相关ღ★，内心会产生深深的责任感ღ★。”用这样一句话来形容中国科学院微电子研究所在走过整整50年后酝酿出的精髓ღ★，可能再合适不过了ღ★，而这正是所长叶甜春心中最真实的感受ღ★。

　　现今ღ★，半导体技术已经融入社会发展和人们生活的方方面面贝博ballbetღ★，其重要性不言而喻ღ★。从1958年建立109厂生产晶体管ღ★，经历过与半导体所三个研究室合并组成微电子中心ღ★，到现在发展成10个研究部门400多名职工ღ★，300多名在读研究生ღ★，其间的过程并不简单ღ★。“从无到有ღ★，靠我们自己的力量ღ★，把基础打了下来ღ★。”谈到过去的历程ღ★，叶甜春感叹地说ღ★。

　　“改革开放后ღ★，国外的半导体ღ★、电子产品大量涌入ღ★。当时的感觉就是ღ★，单个来看ღ★，我们的技术水平没差多少北山惠理ღ★，但要进行大规模生产的时候ღ★，就发现自己很不行了ღ★。能力不行当时总是归结于技术落后ღ★，但其实关键是我们的生产管理方式ღ★、市场运作方式还不能适应这种市场化的要求ღ★。”叶甜春说ღ★，

　　上世纪80年代中期到90年代末是中国经济发展模式转型的时期ღ★，与市场联系紧密的微电子行业更是遇到了挑战ღ★。叶甜春说ღ★：“这十几年最重要的是思想观念的转变ღ★，可以说是一个国家现代化进程必然经过的转型期ღ★，也是一个痛苦的过程ღ★。当回顾历史的时候ღ★，我们感到欣慰的是ღ★，我们始终在坚持贝博ballbetღ★，特别是在中科院知识创新工程进入三期后ღ★，我们的科研水平已经迈上了新台阶ღ★。”

　　谈到坚持ღ★，硅器件与集成技术研究室（一室）主任韩郑生对记者说ღ★：“在十五期间ღ★，国家调整科研计划ღ★。我们研究室从以工艺技术为主转向设计ღ★，转型的道路也是很艰难的ღ★，后来ღ★，我们在工艺平台上和北京华润上华半导体有限公司合作ღ★，并且同时完成国家重大任务ღ★，而所有这些工作都得到了客户的高度认可ღ★。”

　　现在ღ★，硅器件与集成技术研究室致力于硅基集成电路工艺技术及MEMS技术研究ღ★，在CMOS工艺技术研发方面具有雄厚的实力ღ★。并长期从事CMOS先导工艺技术研究ღ★，取得了多项代表国家IC工艺研究水平的成果ღ★。该所还是国内最早制造霍尔电路和VDMOS器件的单位ღ★。

　　知识创新工程给微电子所带来了勃勃生机贝博ballbetღ★，科技处处长夏洋的一句话最有说服力ღ★：“过去我们做的大多是专用的产品ღ★，而现在很多已经逐步转向通用ღ★，覆盖面在扩大ღ★，从专业范围扩展到整个系统ღ★。研究所的专利也从以前的一年几项急速提高到现在的每年100多项ღ★。”

　　作为研究单位ღ★，研究成果是最能说明其实力的ღ★。几十项获奖成果见证了微电子研究所在科研上勇攀高峰的脚印ღ★。

　　例如ღ★，“十五”期间ღ★，中科院微电子所承担了国家重点基础研究项目“973”课题“亚50纳米器件的关键工艺技术基础研究和器件制备”及“863”课题和多项相关的国家自然科学基金等项目ღ★。亚50纳米CMOS器件研制是当时国际上正在开展的前沿性探索研究ღ★，尚处于百家争鸣的知识创新和产权竞争中ღ★。面临一系列挑战很强的壁垒ღ★，如极严重的短沟道效应ღ★、驱动能力下降ღ★、硼穿透和高场效应ღ★、栅隧穿漏电流激增和串联电阻过大等ღ★。为应对上述严峻挑战ღ★，研究人员在器件设计和关键技术方面自主创新ღ★，超指标出色地完成了亚30纳米器件关键技术研究ღ★。该成果是我国IC技术领域一项先导性重大突破ღ★，于2004年获北京市科学技术奖一等奖ღ★，于2005年获国家技术发明奖二等奖ღ★。

　　此外ღ★，2004~2005年微电子所还参与承担了以北大和中芯国际为首的“863”项目“0.09微米集成电路大生产工艺与可制造性技术研究”ღ★，超过技术指标圆满完成了其中的课题“0.07微米CMOS关键技术及器件研究”ღ★。并与中芯国际和宏力等半导体大公司多次技术交流ღ★，努力进行成果推广应用ღ★。上述“863” 项目获2007年教育部科技进步奖一等奖ღ★，并获2008年国家科技进步奖二等奖ღ★。

　　微电子研究所副所长兼专用集成电路与系统研究室（二室）主任周玉梅对记者说ღ★：“三期创新给我们带来的改变有很多ღ★。就拿我们研究室来说ღ★，2004年成功研发专用DSPღ★，峰值运算能力为256亿次累乘加/秒ღ★，达到国际水平ღ★。近5年发表论文78篇ღ★，申请专利26项ღ★，培养毕业硕士ღ★、博士研究生18人ღ★。”

　　陈宝钦是微细加工与纳米技术研究室（三室）的研究员ღ★，也是微电子所的一名老科研人员ღ★。他笑着对记者说ღ★：“我们研究室在国内最早开展亚微米微细加工技术研究ღ★。研究室拥有一个500平方米ღ★，最高洁净度达100级的微纳米加工平台和电子束光刻公共平台ღ★。完善了基于自上而下纳米加工设备ღ★，一条完整的深亚微米ღ★、纳米加工实验研究线已经形成ღ★，各种先进加工设备和检测设备共有20多台ღ★，总共价值1亿多元ღ★。而这些都是知识创新工程开展以来我们的变化ღ★。”

　　用微波器件与集成电路研究室（四室）主任刘新宇自己的话说ღ★，一开始进入微电子所就是“慕名而来”ღ★。

　　“通过这三期的知识创新工程ღ★，研究所的科研实力确实增加了很多ღ★。而且ღ★，以前还是109厂的时候ღ★，科研氛围仅限于一两个研究室ღ★，研究氛围不是很浓厚ღ★。知识创新工程后ღ★，我们这个研究室的职工增长到50多人ღ★，科研水平有了质的飞跃ღ★。”说到科研ღ★，刘新宇显得很激动ღ★，这也恰恰体现了好的科研环境确实能带来好的科研成果北山惠理ღ★。

　　微波器件与集成电路研究室是国内最早开展化合物半导体器件和电路研究的单位之一ღ★，承担了多项国家“863”ღ★、“973”ღ★、自然科学基金项目和中国科学院创新项目研究ღ★，取得了一系列具有影响力的研究成果ღ★。其成熟的4英寸GaAs器件和电路工艺ღ★、2英寸InP器件和电路及GaN HEMTs成套工艺流程为高频大功率微波器件研制提供了可靠的技术保障ღ★，完备的微波电路设计环境和高频测试系统为微波毫米波集成电路设计创造了良好的科研环境ღ★；成套的模块制作设备ღ★，为开展微波射频模块研制奠定了基础ღ★。

　　此外ღ★，通信与多媒体SOC研究室（五室）ღ★、电子系统总体技术研究室（六室）ღ★、电子设计平台与共性技术研究室（七室）ღ★、微电子设备技术研究室（八室）贝博ballbetღ★、系统封装技术研究室（九室）和集成电路先导工艺研究中心也都是由优秀科学家牵头ღ★，取得了不俗的成果ღ★。

　　“微电子行业在国际上竞争很激烈ღ★，面临最大的问题就是知识产权问题ღ★，另外就是下一代技术的发展问题ღ★。很多国内的企业没有能力去顾及两三年以后的技术发展ღ★，这个时候我们要提前替它们作一些研发ღ★，推动它们发展ღ★。”叶甜春认为ღ★，高技术的研究所一定要面对产业界ღ★，并且必须引领整个行业的发展ღ★。

　　这其中一个概念就是成果转化工作的前移ღ★。“我在一个报告上曾提到这个问题ღ★，不要把自己的科研指望成是一个鸡蛋北山惠理ღ★，鸡蛋孵化成一个小鸡ღ★，小鸡长大成为一只母鸡ღ★，母鸡再下很多蛋孵化小鸡的循环ღ★，看上去很快ღ★，实际上做起来是很慢的ღ★。应该选择要么是你下了一个鸡蛋ღ★，让人家去孵成小鸡北山惠理ღ★，或者是你孵化一只小鸡ღ★，那么让人家去帮你养大就行了ღ★，你再去孵新品种的小鸡ღ★。这样ღ★，技术成果的转化工作就前移了北山惠理ღ★。”叶甜春的比喻十分形象ღ★。

　　目前ღ★，微电子所与企业合作的模式是一开始就让企业参与进来ღ★，企业可以提出需求ღ★、参与研发ღ★。联想ღ★、长虹与它的合作也都是这样的模式ღ★。

　　“科学家可以作研发ღ★，但面对市场和产业化ღ★，他们并不是很擅长ღ★。”叶甜春介绍说ღ★，“在实验室里ღ★，科学家们是原动力ღ★，这基于他们对本领域的熟悉和积累ღ★，可以作出很好的成绩ღ★。但是ღ★，如果让科学家们直接去面对他们所不熟悉的市场ღ★、产业等陌生环节ღ★，往往效果差强人意ღ★。”

　　叶甜春认为ღ★，知识创新不是空谈ღ★，得看研究单位针对产业的贡献体现在哪里ღ★。微电子研究所未来的目标之一就是推动产业发展ღ★。“现在ღ★，除了完成国家重大任务ღ★，在产业环节上的实际贡献还太少ღ★，我们想突破这样的瓶颈ღ★。”

　　微电子所与北方微电子公司的院企合作ღ★，是一个解决科学家们直接面对产业化困境的很好案例贝博ballbetღ★。这还要从2001年微电子所派出了一部分科研人员和企业共同组建北方微电子公司谈起ღ★。

　　“十五”期间ღ★，科技部决策设立“863”重大项目ღ★，开展100纳米刻蚀机研发ღ★，这是一种高端集成电路装备ღ★，难度极高ღ★，在国内尚属空白ღ★。北京市政府承担了该任务ღ★，为了保证目标的顺利完成ღ★，决定超常规投入大量财力和精力ღ★。随后ღ★，由中科院微电子所联合高校和企业成立了北京北方微电子公司ღ★，进行100纳米刻蚀机的攻克和研发贝博ballbetღ★。

　　公司成立之初ღ★，技术力量十分薄弱ღ★，微电子所派出一批研究人员直接参与公司的研发ღ★。“研究所派人员去企业ღ★，为项目的完成提供了非常有力的技术支撑ღ★，而在取得研究成果之后ღ★，企业的经营模式又为成果的产业化提供了条件和可能ღ★，这是一种双赢的模式ღ★。”叶甜春说ღ★，“在企业发展到一定的阶段后ღ★，在各方面都需要再提升ღ★，这个时候ღ★，研究所的团队也会给公司提出建议北山惠理ღ★，包括未来的发展方向ღ★、各种现存的困难如何解决ღ★、引进海外人才等ღ★。”

　　“而且ღ★，企业也不会完全依赖现有的研究所团队和研究所的成果ღ★。北方微电子公司的核心技术团队中也有从海外引进的人才ღ★，他们与原有的团队融合ღ★，从而为企业发展提供了更大的能量ღ★、拓展了发展空间ღ★。事实也证明很成功ღ★。这种海外团队在企业创新中是必需的北山惠理ღ★。”叶甜春说ღ★。

　　如今ღ★，北方微电子公司已经成为一家迅速崛起的集成电路装备研制企业ღ★，它打破了中国半导体设备行业尖端设备销售为零的历史ღ★，取得了令业界瞩目的成绩ღ★。

　　微电子所还实行全方位开放合作ღ★。“微电子行业是一个战略性的领域ღ★，也是因为其战略性ღ★，它和各个领域都是相关的ღ★，只有和别人合作ღ★，我们才能找到自身的优势北山惠理ღ★。”叶甜春说贝博ballbetღ★。

　　现在ღ★，微电子所已经和很多企业建立了联合研发中心ღ★。先导性的实验室放在微电子所ღ★，研发中心和国家工程实验室放在企业ღ★。“所有的模式ღ★，现在都看到了很好的进展ღ★。”叶甜春看到了未来的希望ღ★。